光学测试仪器

本项目采购PLR3200光纤激光尺共7台，设备基于激光干涉测量原理，是超高精度位置检测与闭环反馈专用科研仪器。核心技术指标：分辨率10nm、线性测量精度0.5ppm、激光稳频精度0.05ppm、最大量程4m、双通道输出、一体化环境补偿，支持多轴测量与低阿贝误差设计，主要用于超精密加工、光刻技术、微电子与微光学等领域科研实验，标准配置含主机、电源适配器、便携式拉杆箱、说明书、合格证、保修卡及计量校准证书等。

PLR3000光纤激光尺可根据用户需求，配置单轴、双轴以及三轴输出，轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置，用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头，满足用户各种复杂场景应用。