A02330300电子工业生产设备

型号：定制化设备 参数： 该装置包括器件制备环境，器件制备封装和器件测试。工业级器件制备环境：水<1ppm，氧<1ppm，臭氧<5pmm，超净除尘单元过滤等级U15，风速 0.25--0.45 米/秒，温度+15℃至+30℃。制膜工艺旋涂转速可控范围：20-10000rpm，转速分辨率：1rpm;实时转速精度±0.1rpm，加速度可控范围：20-50000rpm/s；蒸发台具有16组带水冷和单独挡板的蒸发源，支持8源共蒸，蒸镀膜厚精度误差在正负0.01A/s，低温泵抽速2400L/s，极限压力10-7pa，可通过软件实现半自动镀膜。64组常温测试通道，16组高温测试通道；电源输出模块单通道最大功率0.36W（18 mA/20V）高低温测试环境：高温范围：+60℃～+150℃，低温范围：-60℃ ～ -10℃，温度均匀度：±2.0℃。