氧化镓单晶生长VB炉
发布时间：
2025-11-11
发布于
四川成都
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 氧化镓单晶生长VB炉 | |
| 项目所在采购意向： | 四川大学*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 四川大学 |
| 采购项目名称： | 氧化镓单晶生长VB炉 |
| 预算金额： | 195.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02189900其他非金属矿物制品工业设备 |
| 采购需求概况 ： | 氧化镓单晶生长VB炉，1台，需满足如下主要功能和目标：1、 生长氧化镓单晶尺寸：≥6寸；2、 生长温度：1820℃；3、 加热器：电阻加热；4、 加热器数量：≥2组；5、 坩埚底部：显示实时温度；6、 坩埚升降：最低升降速率5mm/天，最高升降速率800mm/min；7、 坩埚旋转：1-50转/min；8、 工艺腔室：不锈钢；9、 真空度：≤10Pa；10、 气体：02，Ar，CO；11、 控制系统：PC+PLC，双保险系统；12、 生长过程：一键启动，全自动化；13、 工艺验证：完成2寸单晶 。 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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