合肥工业大学磁控溅射与手套箱互联系统
发布时间：
2026-01-30
发布于
安徽合肥
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| 项目所在采购意向： | 合肥工业大学*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 合肥工业大学 |
| 采购项目名称： | 合肥工业大学磁控溅射与手套箱互联系统 |
| 预算金额： | 105.500000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 该设备用于以二维磁性材料和多功能薄膜材料为基础的新型自旋电子器件制备。系统需满足高真空环境及样品全程不接触空气的核心要求，集成直流溅射法与射频溅射法，可稳定制备磁性金属电极及介电层，手套箱与溅射腔体需无缝互联，确保手套箱内水、氧含量控制在极低水平，溅射腔体具备可靠的真空维持能力，同时支持多靶位切换与膜厚精准监测，实现器件制备全流程的稳定可控。设备需为全新原装正品，符合科研实验室使用规范，配备完善的安全控制与售后保障服务，采用模块化设计以适配后期维护与扩展需求，为自旋电子器件研发提供核心技术支撑。 |
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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