A02100102压力仪表

1.纳米压痕模块: (1)设备最大载荷：≤10 mN；最小接触力：＜80 nN； (2)力量加载方式：静电压驱动；压头压入样品方向：沿垂直方向，自上而下压入；载荷(力量)分辨率：≤2nN；载荷噪音背景：≤50 nN；位移分辨率：≤0.01 nm； (3)位移测量方式：电容传感器 (4)Z轴方向压头移动的最大范围：＞50mm；最大压入位移：≥5 μm；位移噪音背景：＜0.2 nm；热漂移(在室温条件下)：≤0.05 nm/s； 2.纳米划痕模块: 最大横向载荷力：≥2 mN；载荷噪声背景：≤4 μN；横向位移噪音背景：≤2.5 nm；横向位移分辨率：≤0.03 nm； 通过一个二维传感器，加载和检测横纵向的力量和位移；划痕测试过程中，压头移动，而非样品台移动，提高测试灵敏度与精度；载荷噪声背景：≤4 μN；横向位移噪音背景：≤2.5 nm；横向位移分辨率：≤0.03 nm；热漂移(在室温条件下)：≤0.05 nm/s； 可以得到横向力成像图； 3.纳米摩擦磨损模块: (1)磨损面积范围≥：1 μm*1 μm-30 μm*30 μm；可配合原位扫描成像算出体积磨损率； (2) 纵向载荷范围≥: 70 nN – 1mN。 4.原位扫描成像及定位模块： (1)不更换样品台即可对多个样品进行连续不间断的3D原位扫描成像；成像过程采用压头移动扫描、样品台静止的形式；扫描频率：0.01 Hz–3.0 Hz；最小成像力≤80 nN; 扫描分辨率:≥ 256*256像素点; (2)原位扫描探针的位置控制精度满足：压痕、划痕≤±20 nm的位置；单幅扫描体积≥：50*50*2μm，图像可拼接，实现大范围的测试，可配合高温模块实现高温条件下的原位扫描成像； 5.彩色光学显微镜模块: (1)光学分辨率：2 μm；具备连续变焦功能 6.高精密定位平台模块: (1)高精密定位平台可以精确记录样品的位置，可实现样品的自动化测试。 (2)X-Y方向平台可移动范围:≥150 mm×50 mm (3)可以对多个样品进行全自动化高通量力学数据测试 7. 800℃高温模块： (1)温度操作范围：室温到800℃；采用PID温度反馈控制使样品快速的达到测试温度，并保持平衡； (2) 采用微腔式加热，样品顶部和底座兼有加热和温度反馈功能，同时腔体上下均采用循环水冷却系统来保证加热温度的稳定性；测试压头被