电子束蒸发镀膜(金属)设备
发布时间:
2026-09-11
发布于
陕西西安
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电子束蒸发镀膜(金属)设备
项目所在采购意向: 西安电子科技大学*开通会员可解锁*政府采购意向
采购单位: 西安电子科技大学
采购项目名称: 电子束蒸发镀膜(金属)设备
预算金额: 200.000000万元(人民币)
采购品目:

A02330300电子工业生产设备

采购需求概况 :

拟采购电子束蒸发镀膜(金属)设备,1台套;要求能够在半导体硅片及其他特殊基片(玻璃、陶瓷)上进行多种金属或合金材料的真空镀膜,并配备镀膜厚度实时监控系统;配备高真空和低真空系统,同时配备真空监控系统以此保证成膜环境最优化;衬底尺寸要求8英寸向下兼容。镀膜膜厚非均匀性≤5%。交付周期1个月,质保时间2年。

预计采购时间: 2026-10
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

合作机会