松山湖材料实验室原子层沉积设备采购项目
发布时间：
2026-05-07
发布于
广东东莞
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 松山湖材料实验室原子层沉积设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 松山湖材料实验室*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 松山湖材料实验室 |
| 采购项目名称： | 松山湖材料实验室原子层沉积设备采购项目 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 标的名称:原子层沉积设备 标的数量:1 主要功能或目标:制备钙钛矿电池中的界面修饰层、钝化层等 需满足的要求:1.适用于1片300mm×300mm样品镀膜； 2.反应温度可达150℃，控制精度±1℃； 3.标准加热金属前驱体源2路，配置≥50ml不锈钢源瓶； 4.含两路载气系统，具有在线清洗功能； 5.高性能真空系统，整机极限真空＜5E-2Torr，真空漏率＜5E-7Pa·L/S； 6.干泵一套，抽速≥200m3/h； 7.膜厚不均匀性3%内； 8.未尽部分以招标文件技术部分为准 |
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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