A02052401真空获得设备

采购标的：量子信息纳米复合薄膜原位互联制备系统（技术指标：MBE真空腔体、MBE真空获得系统、MBE样品台、MBE蒸发源、MBE反射式高能电子衍射仪、PLD真空腔体、PLD真空获得系统、PLD进样室、PLD五维样品台、PLD靶台、PLD准分子激光器、激光光路、PLD反射式高能电子衍射仪、二维材料转移平台、单工位手套箱、原位真空互联模块、控制系统），数量1套。 采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 1、该系统集成MBE和PLD高精度纳米薄膜材料生长以及二维材料剥离与转移三大核心技术，通过超高真空原位互联腔体获得高质量的纳米复合薄膜界面。 2、合同签订后6个月内完成交货。 3、所有硬件一年保修、所有软件一年保修升级、电话报修后8小时响应服务、24小时内排除故障。质保期内，在非人为因素情况下，一切维修换件保养费用和备品备件均由中标人提供，所有系统故障由中标人维修，对于无法维修的应由中标人及时更换软件版本。质保期满后，中标人提供终身技术支持、维修服务，按照成本收取售后费用。