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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 化学机械抛光机_铜 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr21*开通会员可解锁*年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 化学机械抛光机_铜 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 1. 针对金属互联工艺，于孔槽结构电镀铜材料后的平坦化工艺。 技术指标：样品尺寸：8英寸晶圆；去除率：≥300nm/min；去除率均匀性： ≤5%；表面粗糙度： ≤0.5nm；抛光后铜凹陷：≤50nm 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。 |
| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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