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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 超快激光光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海理工大学*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海理工大学 |
| 采购项目名称： | 超快激光光刻机 |
| 预算金额： | 413.500000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 高能并行多焦点光刻系统一套；普遍适用于各种材料蚀刻加工、以及透过率材料改性微结构、光敏材料打印悬垂微构件等。可实现500个以上并行多焦点，同时支持单焦点可编辑，同时支持780nm和515nm光刻，配备时域聚焦光路，支持全自动拼接打印, 自动对焦和自动调平。大面积DOE制造时间小于15 min.（5 mm x 5mm @ 500 nm) |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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