A02050910 金属表面处理设备

采购1台摩擦表面精细结构转移设备。该设备采用一种高分辨率、低成本的精细结构转移复制技术，利用物理模具施加极大气体压强及温度可调的方式将材料表面精细结构精确转移复制到目标基底上。该工艺突破了传统光刻的光学衍射极限，可实现亚10纳米级别的结构分辨率，特别适用于大面积复制仿生结构和功能性表面。要求该设备采用基于极大压强（50个大气压）及特定波长光固化技术，使用IPS及STU专利工艺，兼容直径为75mm至200mm的材料基片，具备高分辨率能力，可实现最小至10纳米的复制精度；支持整片晶圆压印，最大工作面积可达200毫米X200毫米，并配备高强度的光固化系统，光源输出功率最大400毫瓦/cm2，并配备温控系统可常温升温至200摄氏度。