A02100302光学计量仪器

现计划采购一套桥式三坐标测量机系统。该仪器主要用于硅像素探测器模块的集成组装过程中的精密测量与质量控制。工作环境为温度20±2度，相对湿度35%-55%的万级净室。设备需符合ISO-10360国际标准或等同的国内标准。该三坐标测量机的测量行程为：X方向不小于1000mm，Y方向不小于2000mm，Z方向不小于800mm。该仪器需配备有一套全自动扫描测头以及一套光学影像测头。该仪器的最大允许示值误差≤（2.2+L/300）微米（L为探测长度，单位为mm），最大允许探测误差≤2.2微米。整套三坐标测量机系统需要满足长时间的测量稳定性。该系统还需配备可以进行二次开发的软件控制平台，且采用先进数字信号控制系统，具备碰撞保护与故障自诊断功能。测量数据可自动生成定制报告（Excel/PDF）。 设备必须为全新原厂生产，符合国家及行业相关质量检测标准。整机质保期不低于12个月（自验收合格之日起算）。需提供计量院校准证书，确保出厂精度合格。供应商负责设备运输、现场安装、调试及环境适应性验收。提供不少于5个工作日的操作培训及编程指导，直到操作人员能够独立上岗。质保期内，设备故障需在2小时内响应，24小时内派员到场维修。设备需具备过载保护、紧急制动及光栅报警等安全防护功能。采购合同签订后需在8周内到货并完成安装和调试