多功能薄膜集成原子层沉积系统
发布时间：
2025-09-30
发布于
辽宁沈阳
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 多功能薄膜集成原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院金属研究所2025年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院金属研究所 |
| 采购项目名称： | 多功能薄膜集成原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 146.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02050910金属表面处理设备 |
| 采购需求概况 ： | 本设备主要用于制备多种功能类型的薄膜材料体系，利用具有较高集成度的原子层沉积工艺，制备高精度、高均匀性、高质量的先进薄膜材料，覆盖导体、绝缘体及半导体，包括单质、氧化物、氮化物、二维材料等复杂材料体系，开发前沿性的功能薄膜材料并实现稳定制备。 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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