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中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向

发布时间：

2026-04-03

发布于

北京海淀

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院半导体研究所*开通会员可解锁*政府采购意向公开如下：

序号	采购单位	采购项目名称	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	中国科学院半导体研究所	等离子体增强原子层沉积设备	A02330300	详见项目详情	443.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
2	中国科学院半导体研究所	碳化硅高温氧化炉	A02330300	详见项目详情	540.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
3	中国科学院半导体研究所	大面积光子晶体电子束曝光系统	A02330300	详见项目详情	1275.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
4	中国科学院半导体研究所	超精密化合物半导体衬底抛光机	A02330300	详见项目详情	150.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
5	中国科学院半导体研究所	晶圆平整度检测仪	A02109900	详见项目详情	247.470000	开通会员可解锁	详见项目详情
6	中国科学院半导体研究所	全自动晶圆激光打标机	A02330300	详见项目详情	86.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
7	中国科学院半导体研究所	多物理场仿真子系统	A02109900	详见项目详情	305.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
8	中国科学院半导体研究所	感算融合芯片设计验证系统	A02109900	详见项目详情	480.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
9	中国科学院半导体研究所	傅立叶变换显微中远红外PL系统	A02109900	详见项目详情	200.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
10	中国科学院半导体研究所	反应磁控溅射系统	A02330300	详见项目详情	235.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
11	中国科学院半导体研究所	原子层沉积系统	A02330300	详见项目详情	98.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
12	中国科学院半导体研究所	电子元器件表面功能化用氧化式化学气相沉积设备	A02330300	详见项目详情	98.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
13	中国科学院半导体研究所	超高真空脉冲激光沉积系统	A02330300	详见项目详情	325.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
14	中国科学院半导体研究所	直流脉冲磁控溅射镀膜设备	A02330300	详见项目详情	195.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
15	中国科学院半导体研究所	多元素离子注入机	A02330300	详见项目详情	800.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
16	中国科学院半导体研究所	芯片解理系统	A02330300	详见项目详情	180.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
17	中国科学院半导体研究所	化学机械抛光设备	A02330300	详见项目详情	222.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
18	中国科学院半导体研究所	光学引线键合系统	A02330300	详见项目详情	672.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
19	中国科学院半导体研究所	片上激光器三维加工设备	A02330300	详见项目详情	188.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
20	中国科学院半导体研究所	矢量网络分析仪	A02109900	详见项目详情	476.000000	开通会员可解锁	详见项目详情
21	中国科学院半导体研究所	任意波形发生器	A02109900	详见项目详情	330.000000	开通会员可解锁	详见项目详情