A02100399其他光学仪器

1.测量技术≥3种，需包含共聚焦、干涉、Ai多焦面叠加 2.观察模式：图像、3D、3D 膜厚；相机像素≥1024x1024px (150 fps) 电动XY平台范围≥125x75 mm 放大倍数范围 2.5X-100X 3.单视野视场：0.14 - 5.6 mm；垂直扫描范围≥20 mm 最大垂直测量范围：共聚焦&Ai多焦面叠加≥12 mm；干涉≥1 mm；最大斜率≥多焦面叠加86°；最大扩展测量范围≥125x75mm；显示分辨率≤0.001nm 4.倾斜台：手动 ±4°倾斜；鼻轮≥6孔电动 LED光源：蓝 (460 nm)，白 (580 nm；中心处) 5.样品反射率：0.05%-100%；最大样品重量≥3kg；最大样品高度≥100mm 台阶精度≤0.5%；台阶重复性≤0.1% 6.配置原位测试配件