| 化学机械平坦化设备 | |
| 项目所在采购意向: | 中国科学院高能物理研究所2026年2至3月政府采购意向 |
| 采购单位: | 中国科学院高能物理研究所 |
| 采购项目名称: | 化学机械平坦化设备 |
| 预算金额: | 265.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | A02059900 |
| 采购需求概况 : | 通过化学机械式抛光实现产品表面的平坦化,平坦化后表面粗糙度小于10nm, 中心至边缘厚度偏差不超过3%。 |
| 预计采购时间: | 2026-03 |
| 备注: | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。