| 浸没式涂胶显影机 | |
| 项目所在采购意向: | 中国科学院微电子研究所*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位: | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称: | 浸没式涂胶显影机 |
| 预算金额: | 7000.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 : | 主要用于浸没式光刻胶的旋涂,烘烤以及显影。并具备和浸没式光刻机联机功能,能够进行曝光前晶背处理以及曝光后表面处理。涂胶均匀性需满足浸没式曝光需求;具备负显影工艺能力。 |
| 预计采购时间: | 2025-12 |
| 备注: | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。