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对于集成电路学院电子信息工程、微电子科学与工程等专业的教学而言，碳化硅部件表面处理设备具有重要意义。在《微电子及集成电路基础》《国产芯片创新实践》等核心课程中，学生需掌握碳化硅零部件清洗、金刚石片预处理技能，设备可满足实训需求，助力学生熟悉技术原理，培养操作能力与工艺把控思维，提升专业实践水平。大尺寸槽式清洗机、半自动供液系统为新增设备，该新增设备突破了学院采购的传统清洗设备的尺寸适配局限，实现对大规格、大型号部件的精准颗粒去除，填补了传统清洗设备在大尺寸部件清洗场景的应用空白。在高校相关科研里，能助力多方面研究突破。设备将支撑碳化硅部件优化实验、材料处理清洗等前沿研究，提高样品表面洁净度，为工艺改进提供支撑，推动半导体技术创新突破。