A02052499其他真空获得及应用设备

采购数量：1台套；标的功能要求：本次拟采购一套辊对辊真空蒸镀设备，用于在幅宽200mm的三维碳材料涂覆铜箔基材上连续蒸镀Sn金属颗粒（同时兼容Ag、Zn、Ga、In等金属）。基材为铜箔载带，需具备连续放卷/收卷功能，且结构稳定无脱落；设备采用感应加热式蒸发源，并配备多坩埚切换系统，以适应不同金属工艺。目标镀层厚度约600nm，厚度应可调控，优先具备在线监测或闭环控制功能。镀膜过程中基材承受的最高温度不得超过300℃，设备须配置有效的冷却/温控系统，避免高温损伤三维碳结构。在200mm有效镀膜宽度内，膜厚均匀性须满足要求，并提供实测数据作为验收依据。综上，设备需满足宽幅连续生产、厚度均匀可控、多金属适用及精准温控等核心采购需求。