一、采购标的需实现的主要功能- 支持6英寸卡盘，具备常温至≥200℃加热能力 - 配备≥4个探针座，支持X/Y/Z三轴移动及角度调节 - 具备高精度电学测试能力： - 漏电精度低于100 fA - 配套三轴屏蔽线缆及接口 - 配备显微镜用于微观观察 - 配备无油真空泵用于吸附固定样品 - 具备气浮防震系统 - 配备高精度源表测试，至少2个独立测量通道，可进行二极管、三极管等器件IV曲线测试。 二、采购标的数量 8套 三、采购标的需满足的质量、服务、安全等要求 1.质量要求： - 满足高精度测试指标（如100 fA漏电精度等） - 气浮防震系统保证测试环境稳定 - 具备稳定运行能力 2.服务要求： - 配备高精度源表 - 及时提供技术服务支持 3.安全要求： - 配备屏蔽线缆以降低干扰与风险