安徽大学光学微腔器件加工与测试设备采购项目
发布时间：
2026-06-16
发布于
安徽合肥
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 安徽大学光学微腔器件加工与测试设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 安徽大学*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 安徽大学 |
| 采购项目名称： | 安徽大学光学微腔器件加工与测试设备采购项目 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 为支撑前沿科研探索与定制化小批量试制，本项目拟构建一套光学微腔全流程结构加工及测试表征一体化系统，旨在突破传统掩膜光刻长周期、低效率的瓶颈，基于无掩膜直写系统对光学微腔图案化的高精度(≤1μm)闭环微纳工艺，高精度薄膜沉积及器件刻蚀设备，打通针对光学微腔的微米尺寸图形化结构制备从设计到原型验证的快速闭环。该系统兼顾精度、灵活性与可扩展性，能够显著提升光电器件的原型验证效率，拟采购无需物理掩膜的紫外图形化系统1套、电子束蒸发沉积系统1套，干法刻蚀系统1套。 |
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | 不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，或者存在可能影响政府采购目标实现的情形 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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