A02100499其他分析仪器

1．配置要求 1.1 主机（包括主机主体，逼近马达，电路系统；干涉式检测光路，扫描轴，控制器系统，气相夹持器等），1套； 1.2 液相夹持器，1套 1.3 导电原子力显微镜模块，1个； 1.4 高压模块，1套 1.5 快速力谱成像模块，1套； 1.6 光热激发模块，1套 1.7 小光斑SLD光源，1套； 1.8 操作电脑以及系统操作和数据处理软件，1套； 2．技术要求 2.1 工作模式： 至少包括：轻敲模式，接触模式，相位成像模式，横向力模式，磁场力显微镜模式，单频追踪压电力显微镜模式，双频共振追踪压电力显微镜模式，矢量压电力显微镜模式，静电力显微镜模式，扫描开尔文显微镜模式，力曲线，力阵列测量，纳米刻蚀，纳米操纵，高次谐波成像模式、液相模式等； 2.2 扫描器 X,Y方向的扫描范围≥30μm，Z方向≥5μm；噪音水平：X,Y轴闭环噪音<60pm，Z轴闭环噪音<50pm； 系统高度噪音（探针接触样品，关闭成像反馈）<15pm；（Adev,1Hz到1KHz带宽）； 2.3 检测系统：系统内置干涉仪检测系统和光学杠杆检测系统；干涉式检测探系统利用干涉仪直接测试探针的位移；干涉仪检测器噪声<10fm/rtHz, 光斑尺寸<4um。干涉仪测试系统兼容接触模式，轻敲模式以及压电力显微镜等模式。 2.4光热激发驱动模式： 采用≥400nm激光激励悬臂振动，进行各种轻敲模式相关的操作。液相环境中实现“自动调频（auto tune）”功能；能够利用AFM的操作软件直接控制激光的开关和位置。最高驱动频率≥8MHz； 2.5 快速力谱成像模块：可对每个像素点进行快速力谱成像，力曲线采样速率可达1000HZ以上，测试范围≥10KPA-100GPA。