A02100301显微镜

1.电子枪：冷场发射 2.组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，能谱仪，标准工具及附件。 3.分辨率：0.7nm@15kV；0.9nm@1kV 4.束流：能达到20nA；具有柔性Flash功能 5.具有红外CCD、预抽室、二次电子探测器、背散射电子探测器、STEM探测器（小于分辨率0.8nm）等 6.样品室：马达行程：X,Y=0-100mm，Z=1.5-40mm，T=-5°- 70° 7.真空系统： 真空度：10E-8Pa (电子枪)；10E-4Pa (样品室) 真空泵：离子泵60L/S×1，20L/S×2台；分子泵（磁悬浮型）300L/S×1；机械泵133L/Min×1台；保护：断电、漏电、真空保护 8.能谱仪：斜插式，探测器有效面积不小于60mm2,能量分辨率优于129eV。平插环形探头 9.保修期：整机免费保修3年，灯丝保至少十年。 10.样品清洗仪系统