A02100399其他光学仪器

标的名称：白光干涉仪数量/单位：1套 预算金额（元）：*开通会员可解锁*.00 采购目录：A02100399其他光学仪器 需实现的功能或目标：白光干涉仪是一种高精度光学测量仪器，主要功能是实现样品表面三维形貌的非接触式精密测量、表面粗糙度量化分析、台阶高度与薄膜厚度测量等，配备不同倍率干涉物镜可覆盖微米级到毫米级视场，通过图像拼接技术能扩展测量区域，还可以实现三维可视化显示、截面轮廓提取、体积计算、几何尺寸标注及统计过程控制等数据分析功能。 该仪器自动计算Ra、Rq、Rz等各类粗糙度参数，以光学非接触方式获取数据，避免探针接触造成的样品损伤，将用于软质材料、脆性元件和高价值精密器件的表面质量评价，如半导体晶圆检测、光学元件质量评估、MEMS结构表征及精密机械零件分析等。 需满足的质量、服务、安全、时限等要求：该仪器由测量单元、控制器、隔振底座、镜头以及分析软件构成，采用500万像素高速相机，支持PSI/VSI双模式。在任意放大倍率下均可实现＜1nm的检测精度；通过专用软件对3D形貌进行数据分析和处理；隔振设计，稳定性提升至少2.7倍。；整机提供1年以上质保，质保期内免费维修和更换配件；质保期外，提供终身维护维修；整机提供24×7小时内电话响应服务