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| 半导体级金属刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向: | 深圳职业技术大学半导体级金属刻蚀设备意向公开 |
| 采购单位: | 深圳职业技术大学 |
| 采购项目名称: | 半导体级金属刻蚀设备 |
| 预算金额: | 295.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | 教学仪器 |
| 采购需求概况 : | 本项目所购置的半导体级金属刻蚀设备对于集成电路学院的教学有着重要的意义。在教学方面,其关联《集成电路制造技术》、《半导体制造设备运维》、《工艺优化与良率提升》等3 门核心课程,能提供不少于300 课时实训,助力学生掌握半导体器件制备中的金属材料刻蚀技术,当前学院无此类设备,限制教学使用和课程规划,购置可填补空白。于科研而言,是助力学生掌握金属材料刻蚀工艺及刻蚀形貌控制的关键,学校现有设备无法满足相关需求,购置能推动科研发展,提升学校在该领域竞争力。 |
| 预计采购时间: | 2026-03 |
| 备注: | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。