A02330300电子工业生产设备

本项目拟采购钙钛矿电池制备系统，系统由磁控溅射设备PVD、原子层沉积设备ALD及配套惰性气体氛围箱体组成，主要用于钙钛矿太阳能电池、钙钛矿/硅叠层电池以及小面积组件中的功能薄膜、电极层和封装相关薄膜的制备。钙钛矿光伏材料具有高效率、低成本和可低温制备等发展潜力，是新一代光伏技术的重要研究方向。该系统主要服务于透明导电电极、氧化物电子传输层、界面缓冲层、阻挡层及薄膜封装层等关键结构的制备。磁控溅射设备可用于ITO、IZO、AZO、金属氧化物及其他透明导电薄膜的沉积；ALD设备可用于SnO？、TiO？、Al？O？、ZnO等高均匀性、高致密性薄膜的低温沉积；配套惰性气体氛围箱体用于样品在水氧敏感环境下的转移、暂存和工艺衔接。系统建成后，可显著提升实验室在高效率、高稳定钙钛矿电池及叠层电池制备方面的工艺完整性和可重复性，为多课题并行开展、器件结构优化和小面积组件验证提供关键设备支撑。