A02109901其他仪器仪表

（1）支持多靶材共溅射，具备多工位旋转平台；真空度≤5×10？？？Torr，膜厚均匀性≤±3%，靶材尺寸≥2英寸，具备磁控场强可调功能，支持TMR多层结构高精度沉积； （2）高精度三维移动平台：精度1um，用于高精密移动，定位精度1μm（重复定位精度±0.5μm，绝对精度±1.5μm），行程范围300mm，负载能力50kg，移动速度400mm/s； （3）高精度激光测距仪：短程（0.1mm10m）、中程（10m100m）、远程（100m3km），绝对精度±0.1μm，测量速度100kHz； （4）低噪声电源与信号发生器：输出功率90W，RMS有效值噪声<10μV RMS，峰峰值噪声：<100μVpp； （5）振动台与冲击试验机：最大推力200kN，频率上限10kHz，最大加速度100g； （6）金属打印机：激光功率：500W，扫描速度：7m/s，层厚范围：20~100μm，材料支持：钛合金、铝合金、高温合金、不锈钢等。