A02052402真空应用设备

高真空电子束蒸发镀膜机（核心产品），数量：1套；双工位手套箱，数量：4套。 该批设备主要用于在高真空环境下制备金属及化合物薄膜，并在极低水氧环境下进行样品保护、转移及后续工艺操作。是开展有机电子、柔性电子、微纳加工等本科教学的核心基础设备，用于制备高质量的电极和功能层，确保材料与器件在制备过程中的稳定性。 技术要求如下： （一）高真空电子束蒸发镀膜机（核心产品）： 1.真空腔室：Φ500×600mm；极限真空优于5.0×10？？Pa，工作真空≤5.0×10？？Pa； 2.抽速：从大气抽至8.0×10？？Pa ≤20min； 3.基片台：5英寸，可旋转0-25r/min，配气动挡板； 4.电子枪：E型，功率8KW，6穴坩埚； 5.膜厚监控仪：进口品牌，显示精度±0.1Å； 6.控制方式：PLC+触摸屏手自动控制，具有完备报警与保护功能。 （二）双工位手套箱： 1.箱体：304不锈钢，单工位操作长度≥1220mm，内含多层搁物架； 2.过渡舱：大过渡舱直径≤360mm，小过渡舱直径≤150mm，与箱体为可拆卸法兰连接； 3.玻璃视窗：实芯O型密封圈法兰视窗结构，实现无泄漏； 4.气体净化系统：自动再生，水氧含量＜1ppm； 5.循环能力：集成风机流量≥90m³/h，变频控制； 6.分析仪：水分析仪采用五氧化二磷传感器，氧分析仪采用二氧化锆传感器，均可再生，维护成本低； 7.配置箱内有机溶剂吸附器。 交付时间要求： *开通会员可解锁*前。 售后服务要求： 整机免费保修5年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。