金属表面处理设备

一、功能需求<br>具备Ti、Zr等金属及其合金材料表面N掺杂改性功能，制备以TiN、ZrN为主的冶金结合改性层，耐磨损、耐腐蚀性能提升1个数量级以上。<br>二、技术指标需求<br>1.功率：≥50 W；<br>2.波长：1064 nm±1 nm；<br>3.脉冲宽度：5 ns±0.1 ns；<br>4.单脉冲能量≥50 mJ；<br>5.频率：1000 HZ±1 HZ；<br>6.近场调制度：≤1.5；<br>7.对比度：≤0.15。<br>8.真空室极限真空≤0.01 Pa；<br>9.耐压≥3 atm；<br>10.真空室内部尺寸：φ200 mm*200 mm；<br>11.运动机构（具备X、Y、Z、R轴运动功能，行程上满足尺寸最大φ50 mm、h10 mm产品激光改性需求）。