A02100699 其他试验仪器及装置

南京大学拟采购低温原子层级薄膜外延生长设备一台。主要采购需求如下：（1）生长腔的漏率≤10^-12mbar·L/s，本底真空＜2.0x10^-10mbar；（2）配置离子规及其控制器，探测真空度极限达到1x10-12mbar；（3）配置不少于4个观察窗及相应防污染挡板，配置红外测温仪，用于非接触直接测量样品表面温度；（4）配置四维样品台，样品直径可达到1英寸，配置热辐射和直流加热功能，配置液氮制冷；（5）配置2套低温蒸发源（600℃），2 套中温蒸发源（1400℃），2 套高温蒸发源（1800℃），1套裂解蒸发源（蒸发区30-600℃，裂解区200-1400℃）和1套电子束蒸发源；（6）配置反射式高能电子衍射仪，并配备配套的观察分析软件；（7）配置电动模块和控制模块；（8）质保期1：年。