A02052402 真空应用设备

南京大学拟采购电子束蒸发镀膜机一台，用于实验室制备包括金、钛、铂等常用金属在内的高质量电极材料。主要采购需求如下：（1）工艺腔配备4000l/s冷泵和1000l/min油泵；（2）工艺腔配备一套真空计，包括前级真空计、全量程真空计、大气压传感器；（3）工艺腔配备1个6坩埚电子枪，坩埚容量15cc，电子枪电源6kW；（4）工艺腔配备1个石英晶振控制器和1个石英晶振探头，石英晶振监控精度：±0.015A/s，显示精度：0.01A/s；（5）工艺腔配备6英寸旋转样品台，转速5～20rpm，样品台可水冷，冷却温度范围：5-90℃；（6）工艺腔极限真空优于2x10-7Torr；（7）6英寸镀膜均匀性优于±3%；（8）质保期不少于一年，提供原厂售后服务。