A02100699 其他试验仪器及装置

南京大学拟采购低维薄膜材料物理气相沉积设备一套，主要采购需求如下：（1）设备由进样室、镀膜工艺室及其它组成；（2）工艺室配置分子泵（或低温泵）和前级干泵等，极限真空低于5E-7Torr；（3）进样室配置独立的真空泵组；（4）进样室和工艺室分别配置冷阴极高真空计、工艺真空计和低真空电阻式真空计；（5）设备安装样品尺寸不小于直径为8英寸，有射频等离子体源做为辅助溅射；衬底在真空腔室中翻转功能，实现在不暴露真空条件下的双面镀膜；配置在线检测系统和控制系统等；（6）工艺室衬底加热器加热温度不低于500度，进样室衬底可加热；（7）工艺室内安装不少于四套4英寸靶枪及其控制电源，其中两套适用于磁性材料生长；（8）工艺室配置质量流量计控制的气路系统；（9）介质薄膜片内和片间的厚度均匀性优于±3%；（10）质保期：自验收之日起不少于12个月；（11）交货期：合同签订之日起4个月内。