松山湖材料实验室磁控溅射镀膜设备采购项目
发布时间：
2026-05-07
发布于
广东东莞
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 松山湖材料实验室磁控溅射镀膜设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 松山湖材料实验室*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 松山湖材料实验室 |
| 采购项目名称： | 松山湖材料实验室磁控溅射镀膜设备采购项目 |
| 预算金额： | 135.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 标的名称:磁控溅射镀膜设备 标的数量:1 主要功能或目标:制备钙钛矿太阳能电池透明导电膜层、氧化镍层、铜电极层等，整机结构紧凑、操作方便、抽真空速度快 需满足的要求:"1.在300mmx300mm玻璃基板上沉积NiOx、ITO、Cu等材料薄膜； 2.采用射频直流、电源配置旋转圆柱及平面靶位; 3.具备加热及腔室照明功能; 4.抽真空，2小时内腔体压力低于8×10-4 Pa； 5.各位置漏率均应低于3e-9 Pa·m3/s; 6.片内均匀性<5%，片间均匀性<5%; 7.自动镀膜工艺,具有多靶材顺序镀膜功能 8.未尽部分以招标文件技术部分为准" |
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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