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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 步进式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院 |
| 采购项目名称： | 步进式光刻机 |
| 预算金额： | 37000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 标的名称:步进式光刻机 标的数量:1 主要功能或目标:提升半导体制造及研发领域的高精度图形转移能力。 目标：确保高精度层间套刻能力，能适配硅、化合物半导体等多种衬底材料的晶圆加工。 需满足的要求:1、最小分辨率应≥0.22um； 2、不低于250片/小时的量产效率及高精度层间套 3、支持常规及环形照明模式 4、符合SECS/GEM通讯标准。 5、需满足72小时连续运行稳定性要求，确保安全合规与长期可靠运行。 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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