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晶圆键合设备
发布时间:
2026-06-15
发布于
陕西西安
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晶圆键合设备
项目所在采购意向: 西安电子科技大学2026年7至8月政府采购意向
采购单位: 西安电子科技大学
采购项目名称: 晶圆键合设备
预算金额: 350.000000万元(人民币)
采购品目:

金属焊接设备

采购需求概况 :

本次拟采购一台晶圆键合设备,主要适用8寸及以下尺寸晶圆加工。设备需满足高精度键合工艺要求,具备稳定可控的键合压力、精准的温度调控与快速升降温能力,同时可实现高真空工作环境,以保障键合工艺的一致性、均匀性与可靠性。键合压力(KN):≥60KN;键合压力波动:≤±1% F.S;键合压力精度:≤±2% F.S。

预计采购时间: 2026-08
备注:

需求参数仅为参考,具体以实际招标文件为准

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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