A02330500电工、电子生产设备零部件

功能和目标：高精度微隙汇流真空链路加工包含：碲化镉生长室加工，碲镉汞生长室加工，预处理室加工，缓冲室加工，存储室加工，进样室加工，Hg回收腔加工，液氮冷屏加工，不锈钢基座加工，源炉挡板加工，进样室烘烤灯加工，进样门加工，机械臂及传样零配件加工；烘烤衣机烘烤控制箱加工；装配集成包含：将以上加工件通过闸板阀(矩形板阀)互联。将以上加工零部件集成后形成碲镉汞分子束外延设备的高真空互联腔室主体部分，奠定各个腔室的超高真空环境的基础，实现系统Hg回收功能，晶圆样品的精确传送功能以及各个腔室的烘烤功能。保障高质量碲镉汞材料的外延生长。

项目说明：该项目中各腔室和基座的材质、表面处理及加工需严格按照用户要求，保证腔室的洁净度和放气率，以最终保证各腔室的极限真空和功能完整，满足用户使用要求；烘烤灯及烤衣烤箱满足系统的烘烤除气工艺要求；机械臂以及传样零配件与腔室系统严格适配，臂长、负载能力、旋转及伸缩精度等性能指标满足晶圆样品的精确传送的使用要求。