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| 氧化物分子外延成长系统 | |
| 项目所在采购意向: | zycgr24*开通会员可解锁*年3月政府采购意向 |
| 采购单位: | zycgr24041501 |
| 采购项目名称: | 氧化物分子外延成长系统 |
| 预算金额: | 650.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | A02052402-真空应用设备 |
| 采购需求概况 : | 1. 薄膜生长腔工艺真空不低于10^-6 Pa。 2. 配备预处理腔室,可对样品进行脱气处理。 3. 快速进样:快速进样室配备超高真空抽气系统、超高真空测试系统。 4. 辅助设备:配备系统支架、烘烤设备、通讯控制系统、安装工具等。 |
| 预计采购时间: | 2026-03 |
| 备注: | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。