A02100301显微镜

一. 扫描电镜原位测试系统 1.原位力热加载系统： 1.1 加载范围：最大10000N 1.2 载荷控制精度：±2N 1.3 加载速率：0.2μm/s~12μm/s 1.4 加载行程：＞40mm 1.5样品变形位移测量精度：100nm 1.6应力水平：≥5GPa 1.7 温度范围：室温~1200℃ 1.8 加热区域：≥Ф7.5mm 1.9 控温精度：±2℃ 1.10 成像条件：高真空成像 2.原位冷热台 2.1 温度范围：-100℃～300℃ 2.2 温度控制精度：±5℃ 2.3 可与力学加载系统耦合 3.超高温测试系统 3.1 最高加热温度：1400℃ 3.2 升温速率：优于100℃/min 3.3 加热区域范围：≥1×0.5×0.4mm 3.4 温度控制精度：±5℃ 二. 原位激光超声测试系统 1. 探测激光波长：532 nm±10 nm，脉冲宽度：≤10 ns，重复频率：100 Hz，单脉冲最大能量：≥20 mJ； 2. 探测激光波长：1550 nm±10 nm，激光功率：0~1 W（且连续可调），探测带宽：DC~40 MHz，工作距离：15 cm~50 cm； 3. 带自动扫描模块； 4. 激光超声空间分辨率：纵深方向原位检测最优空间分辨率优于300 μm 5 . 探测深度范围：～5mm 三、耦合工作模式 1. 激光超声可以与扫描电镜耦合，结构兼容，激光光束与扫描电镜电子束共焦 2. 原位仪器与扫描电镜耦合，原位仪器均可以安装在扫描电镜内，实现原位性能测试与微观结构调试同步 3. 激光超声与原位仪器耦合，原位仪器在电镜内运行时，激光超声的激励与探测激光可以聚焦到样品表面，对样品进行激光超声表征 售后服务要求