真空等离子处理仪(SCUT-HW-JJ20260095号)采购公告
中标/成交
发布时间:
2026-04-07
发布于
广东广州
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公告详情
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项目名称 真空等离子处理仪 项目编号 SCUT-HW-JJ20260095号
公示开始日期 *开通会员可解锁* 09:55:11 公示截止日期 *开通会员可解锁* 10:00:00
采购单位 华南理工大学 付款方式 验收合格后双方签字盖章,凭发票 30 天内一次性付清。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后3工作日 到货时间要求 成交后7工作日
预算 ¥ 62,000
供应商资质要求

满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定

收货地址 广州市天河区五山路381号华南理工大学五山校区

采购清单 1

采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
真空等离子处理仪 1 其他试验仪器及装置
品牌 善准科技
规格型号 VP-R5
技术参数 1、腔体材质:石英玻璃2、腔体容量(mm):≥Φ150xD2703、射频功率:≥160W,自动电阻阻抗匹配4、射频频率:13.56MHz5、频率偏移量:小于0.2KHz6、等离子体轰击:从四周向中间7、等离子体激发:触摸屏一键自动启动8、腔体内温度:满功率运行30分钟腔体内温度<32℃9、清洗时间:0-1800 s可调,精确到1秒10、功率调节:高、中、低三档可调11、过载保护:具有电流过载保护功能,实时显示电流值12、显示屏:≥4.3英寸触摸屏13、操作控制:提供中英文两种操作界面,触摸屏控制14、气体流量计:高精密2路浮子流量计15、提供进气通路:两路进气,气体流量0-300ml/min可调(常用气体:氩气,氧气,氮气,氢气,氨气,四氟化碳,其他混合气体)16、进气管:两根6x4PU管,尾端配6转6快拧接头17、泄压:等离子处理结束,自动泄压,泄压时长和速度可调,提供氮气或其他气体泄压通道18、整机气密性高:接上波纹管,连接等离子主机腔室,真空度<10Pa19、真空泵真空度:极限全压力≤5x10-1Pa20、抽速:≥4m3/h21、噪音:≤52dB22、RF放射:无23、抽真空时间:启动到发出辉光≤50秒24、真空检测:数字显示,实时观察腔体真空度状态25、泄漏检测:触摸屏上有一键泄漏检测功能26、冷却方式:风冷27、腔体门:带可视窗高强度铝合金,并在触摸屏上自动识别开/关28、真空泵控制:主机与真空泵联动,可在主机触摸屏控制真空泵开启/关闭29、供电电源:AC220V/50Hz30、温度控制:在等离子激发频率为13.56MHz的情况下,在满功率运行30分钟后清洗腔内温度不高于32℃,清洗过程不损伤样品本身的性能31、箱体平衡:减震橡胶脚杯32、机箱材质:机箱面板采用磨砂烤漆材质增强耐腐蚀能力33、机箱尺寸(mm):≤560x360x450 (WxHxD)34、配置:主机VP-R5、双级旋片真空泵、2米波纹管、两路进气管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后4小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年;机器序列号在厂家官网查询到的配置与实际供货一致,要求原厂售后;

华南理工大学

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