高真空镀膜系统（SCUT-HW-JJ20260236号）采购公告
招标
发布时间：
2026-06-15
发布于
广东广州
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 项目名称 | 高真空镀膜系统 | 项目编号 | SCUT-HW-JJ20260236号 |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | *开通会员可解锁* 16:51:49 | 公示截止日期 | *开通会员可解锁* 17:00:00 |
| 采购单位 | 华南理工大学 | 付款方式 | 验收合格后双方签字盖章，凭发票30天内一次性付清； |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3工作日 | 到货时间要求 | 签约后20工作日 |
| 预算 | ￥ 199,000 | ||
| 供应商资质要求 | 满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定 |
||
| 收货地址 | 广州市天河区五山路381号华南理工大学五山校区 | ||
采购清单 1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 | 是否进口 |
|---|---|---|---|---|
| 高真空镀膜系统 | 1 | 台 | 真空应用设备 | 否 |
| 品牌 | 光拓 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | GT300-S6 | ||
| 技术参数 | 1.采用型焊接式框架，外观要求白色喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门。2.底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。3.带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。4.电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。5.基片盘采用嵌入式结构，可搭载1片100mm*100mm基片，向下兼容，并带水冷功能。 6.电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。7.配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围100mm x 100 mm。8.6组舟源，热阻式，带水冷，用于材料蒸发，可蒸发常见金属及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm。9.1台舟源蒸发电源，功率≥1.5KW，电压8V，电流180A，精度0.1A，用于蒸发材料。有电压和电流两种驱动方式。10.每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，打开方式：左右旋转。11.源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。12.采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，显示器通过机械手臂固定在设备框架。13.控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换。 14.带有一键自动蒸镀功能，即软件设置好所有材料的相关参数，即可完成抽真空，电源升降功率，电机旋转，材料切换，开关挡板等所有动作。 15.真空室由不锈钢制成，内部尺寸不大于300mm*300mm*560mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。16.真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。17.腔体极限真空优于3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护）。18.带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。19.腔体内表面预留安装金属防污挡板接口,后期可安装金属防污挡板。20.前级泵的抽速不低于16m 3/h。21.主泵采用抽速≥700l/s的分子泵。22.主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥160mm。23.自动抽气控制，带安全互锁功能。24.配有前级管路等相应的硬件。25.真空室配真空计，测量范围为大气至10-5pa。 | ||
| 售后服务 | 质保期:三年;1.验收合格后，非人为损坏免费质保3年；2.当用户在使用仪器遇到问题时，接报3小时内作出响应，有必要情况下24小时内到达现场售后服务。; | ||
华南理工大学
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