扫描电子显微镜预公告

采购项目：扫描电子显微镜

关键技术要求：1 电子光学系统1.1 分辨率：不低于 0.8nm（15kV）

；不低于 1.1nm（1kV）

，非样品台减速模式。

1.2 加速电压范围：包含 200V~30kV。1.3 镜筒内减速模式：低电压配备镜筒内电子束减速模式。1.4 电子束流范围：3pA~20 nA，连续可调。1.5 放大倍数：包含 10 倍~1000,000 倍。1.6 放大倍率连续可调，无需任何模式切换。1.7 物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计。1.8 物镜光阑：数量≥5 孔。2 探测器系统2.1 配备二次电子探测器。2.2 配备镜筒内二次电子探测器；可获得高分辨的表面形貌像。2.3 配备样品室内高分辨背散射电子探测器，以获取样品的成分对比信息。2.4 彩色 CCD 样品室观察系统；3 样品系统3.1 样品室尺寸：样品室直径≥310mm，高度≥275mm。3.1.1 可装载最大样品直径：≥180mm。3.1.2 可装载最大样品高度：≥70mm。3.2 样品台类型：五轴优中心马达驱动样品台。3.3 倾斜：不低于 -10º~70º；R＝360º，连续可调。3.4 最大样品重量：五轴不低于 500g。3.5 样品台移动范围：＞10μm×10μm。3.6 样品台移动范围 X≥110mm；Y≥110mm；Z≥60 mm。4 真空系统4.1 样品室真空度：高真空模式不低于 5×10-4Pa，电子枪真空度不低于 2×10-7 Pa。5 电镜控制与图像控制处理系统5.1 最大存储图像分辨率不低于 32K×24K 像素（非 PS 放大）

。

6 X 射线能谱仪6.1 探测器：分析型 SDD 硅漂移电制冷探测器，有效面积≥30mm2；高分子超薄窗设计。6.2 能量分辨率：Mn Ka 保证优于 129eV；以上探测器能量分辨率保证符合 ISO 15632:2012 标准。6.3 定量分析：具备 KLM 全谱线系数据库，采用 XPP 定量修正技术，配置 20kV 及 5kV 高低电压定量数据库，可覆盖不同电压下的定量分析。7 高分辨 EBSD7.1 高速低噪音 CMOS 相机，分辨率不低于 1k*1k，并能够与各主流型号的电镜良好配合。

7.2 EBSD 在线解析最高标定速度优于 400pps。7.3 最佳取向精度≤0.05 度。7.4 采用专门定制的光纤传导系统，光通量远大于透镜模组，特别适合弱信号分析。7.5 采用主动式防碰撞传感器设计，在碰撞发生前探测器自动预警并后撤，起到保护 EBSD 作用。8 自动镶嵌机8.1 最大加热温度≥200℃，实时温度实时显示。8.2 加压方式为液压，最大压力≥400bar，压力可调。8.3 支持制备φ30 的样品。9 双盘台式自动磨抛机9.1 制样数量：≥6 个。9.2 试样直径支持φ30mm。9.3 加载力方式：单点气动，每个样品单独施加压力。9.4 标配 6 工位滴液系统。10 自动切割机10.1 最大切割直径：≥80mm。10.2 主轴转速：≥4000r/min，速度可调。10.3 Y 向移动行程：≥220mm。10.4 平台尺寸：≥570mm×470mm。

有意向进行技术交流的潜在投标人可自本公告之日起至 2026 年 7 月 20 日，

每天（节假日除外）北京时间 9:00-16:00 时与以下业务联系人通过电话或邮件沟通交流。业务联系人：朱晓天业务联系电话：*开通会员可解锁*传真：/电子邮件：/地址：/