招标公告

1. 招标条件

本招标项目晶圆有机清洗机招标人为中国电子科技集团公司第四十四研究

所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为 100%。该项目已具备招标条件，

现对晶圆有机清洗机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20260424A004

2.2 招标项目名称：晶圆有机清洗机。

2.3 数量: 1 台

2.4 主要内容：本次购买的晶圆有机清洗机要求为国产全新设备，主要应用

于铟镓砷 APD 焦平面晶圆制程，用于清除晶圆在制程、储存及传输过程中晶圆附

着的有机污染物、金属杂质、颗粒、自然氧化层及化学残留。从而实现刻蚀、介

质膜、湿法腐蚀等工序间的顺畅衔接。设备依托用有机溶剂为工作介质，利用溶

解、兆声等作用，针对不同污染物的化学特性，将其转化为可溶于水或可挥发的

物质，最终通过超纯水冲洗和高效干燥，从而彻底清除晶圆表面残留物，避免其

对器件表面形貌、电学特性及可靠性造成影响。具体要求详见技术规格书。

2.5 交货地点：重庆市沙坪坝区西永微电园西永大道 23 号。

2.6 交货期：合同生效后 150 天内。

3. 投标人资格要求

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共

和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其

它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人需提供 2023 年 1 月 1 日至今已签订的本次投标的

同型号或同系列全自动设备销售业绩≥3 台，须提供设备采购合同复印件（合

同乙方应为投标人），合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双

方及签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提

供的业绩证明不予认可。

3.3 其它要求：本项目不接受代理商投标。

3.4 本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1 凡有意参加投标者，请于 2026 年 07 月 10 日至 2026 年 07 月 17 日 17

时(北京时间)，登录中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn,注册

操作咨询电话 *开通会员可解锁*）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价 800 元（从中招联合招标采购平台下载标书款电子发

票），售后不退。

5. 投标文件的递交

5.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为 2026 年 07 月 31

日 09 时 30 分，地点为圣荷酒店会议室（重庆市沙坪坝区西永大道 36 号）。

招标人在本项目递交投标文件截止时间和递交地点开标，邀请所有投标人参

加开标，投标人未派代表参加开标的，视为默认开标结果。

5.2 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文

件，招标人将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台和中招联合招标采购平台

发布。

7. 监督部门

本招标项目的监督部门为：法务与风控审计部。

8. 联系方式

招标人名称：中国电子科技集团公司第四十四研究所

地址：重庆市沙坪坝区西永大道 23 号

联系人：吴先生

电话： *开通会员可解锁*

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角 88 号大楼

售卖联系人：李经理

电话：*开通会员可解锁*

项目负责人：唐玲

电子邮件：zhaobiaobu@zonkex.com