隧道式溅射台-招标公告
招标
发布时间:
2026-02-24
发布于
四川成都
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招标公告

1. 招标条件

本招标项目隧道式溅射台(项目名称)招标人为中国电子科技集团公司第二

十九研究所,资金已落实。该项目已具备招标条件,现对隧道式溅射台进行国内

公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 项目名称:隧道式溅射台。

2.2 招标编号:TC269600M

2.3 数 量:1套。

2.4 主要功能要求:隧道式溅射台 1 台,主要用于薄膜陶瓷镀膜工序 Cu/Ti

微结构,Au/TiW/TaN 传输导线两种体系膜层淀积能力,为微系统集成密度提升

提供支撑。针对薄膜陶瓷电路特征,设备功能需满足溅射深径比

≥10:1 且 TaN(反

应溅射)均匀性<5%等典型需求。

2.5 交付地点:招标人指定地点(四川省成都市)

2.6 交付期:自合同签订之日起, 4个月内具备完成生产(具备工艺指标调

试条件)

,6个月内完成预验收并到货,8个月内具备最终验收条件。

3. 投标人资格要求

3.1 法人要求:本次招标要求投标人为在中华人民共和国关境内注册的独立

法人单位,并具有与本招标项目相应的供货能力。

3.2 财务要求:投标人为企业单位的提供2024年经会计师事务所或审计机构

审计的财务会计报表,上述财务会计报表至少应包括审计报告正文(审计报告正

文必须完整,且由会计师事务所盖章、注册会计师签名和盖章,未经签字盖章的

审计报告视为无效审计报告,投标将被否决)、资产负债表、现金流量表、利润

表的复印件,缺一不可。投标人的成立时间少于上述规定年份的,应提供成立以

来的财务状况表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的提供2024年的财务

报表。

3.3 业绩要求:投标人自*开通会员可解锁*以来,至少有一个与本次投标产品

同类型的

(同类型是指溅射深径比优于10:1且TaN均匀性优于±5%的溅射台设备)

且已完成验收的自身产品销售案例。投标人提供带有技术性能指标或技术协议的

合同复印件、已验收合格的证明文件(如验收报告复印件,或全套发票复印件等

证明材料)。合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称、

技术要求或技术协议等业绩相关性的主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均

不予认可。

3.4 信 誉 要 求 :

1)投标人未被招标人列入中国电子科技集团公司第二十九研究所投标人负

面清单(提供盖公章的承诺函)。

2)投标人未被最高人民法院列入失信被执行人名单,提供信用中国或中国

执行信息公开网查询结果。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的,可书面

承诺投标人未被列入失信被执行人名单(格式自拟)。

3.5 其他要求:

(1)本次招标不接受联合体投标;本项目要求由生产厂家自行投标。

(2)投标人对响应条款应承担履约责任,若中标签约后无法按合同履约,

将纳入中国电子科技集团有限公司供应商负面清单,并追究其违约责任。

4. 招标文件的获取

致各潜在投标人:

4.1 本项目支持网上发售、下载电子版招标文件。凡有意参与本项的潜在投

标人,请于 2026 年 02 月 25 日至 2026 年 03 月 02 日,每日 09 时至 17 时(北京

时 间 , 下 同 ) 前 往 “ 中 招 联 合 招 标 采 购 平 台 ” 进 行 投 标 人 注 册 ( 网 址 :

http://www.365trade.com.cn、注册操作咨询电话 400 903 3175)

、获取电子版

招标文件(在线下载承诺书,并将盖章签字的告知书和承诺书扫描上传至平台后,

审核通过后下载招标文件)

4.2 招标文件售价 500 元/包,售后不退,且投标资格不能转让。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间(投标截止时间,下同)为*开通会员可解锁*09

时30分,地点为菱彩瀚都酒店2楼禅茶厅(地址:成都市金牛区一品天下大街178

号),酒店联系电话*开通会员可解锁*

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文

件,招标人将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台(www.cebpubservice.com)、

中国电子科技集团有限公司电子采购平台(http://www.cetceg.com)上发布,

其他媒介转载无效。

7. 监督部门

本招标项目的监督部门为:纪检审计与法务风控部。

8. 联系方式

招标人:中国电子科技集团公司第二十九研究所

地址:四川省成都市金牛区营康西路496号

联系人:黄先生

电话:*开通会员可解锁*

招标代理机构:中招国际招标有限公司

地址:成都市武侯区航空路 6 号丰德国际广场 D1 栋 401 号

联系人:贾婕、申恩奇

电话/传真:*开通会员可解锁*

电子邮件:jiajie@cntcitc.com.cn

(若遇电话无人接听时,请将需要咨询的项目名称及联系电话发送至代理机构邮

箱内,邮箱号为:jiajie@cntcitc.com.cn)

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