燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购 - 评标结果公示公告

项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购

招标项目编号：1289-264026ZB0317

招标范围：编号 设备名称 数量 简要技术说明 1 栅氧化炉设备 1台 用于第三代半导体 SiC 晶圆

的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度

1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。

招标机构：华采招标集团有限公司

招标人：北京燕东微电子股份有限公司

开标时间：*开通会员可解锁* 10:00

公示开始时间：*开通会员可解锁* 13:03

评标公示截止时间：*开通会员可解锁* 23:59

中标候选人名单：

招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）

招标人或其招标代理机构：___________________（盖章）

候选人排名

投标商名称

制造商

制造商国别及地区

1

北京北方华创微电子装备有限公

司

北京北方华创微电子装备有限公

司

中国