北京大学信息科学技术学院电子束曝光机年保维护采购。

申请人所在课题组购置的RAITH150 Two电子束曝光机使用情况良好，目前因设备满负荷运行超过5年，工作量较大，部分部件逐渐老化，需对电子光学系统（包括二次电子探测器、物镜、不同种类的光阑等）、电子枪、激光干涉台（包括激光干涉仪、激光源、X/Y/Z轴马达、马达控制器等）、电路控制板、不间断电源、水冷机等进行维护保养或维修。因为RAITH150 Two电子束曝光机属于昂贵的精密仪器，只有Raith公司可以针对每一个部件提供专业的维护保养和维修工作，以保证设备良好的性能和工作状态，无法通过第三方公司来实现。因此该服务拟采用单一来源方式进行，由Raith公司承担。现将有关情况向潜在供应商征求意见。

征求意见期限从*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*止。

潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：张婷，西鹏

联系电话：*开通会员可解锁*，*开通会员可解锁*