申请人所在实验室主要从事电子束离子束技术方面的研究,目前承担了电子束曝光机和氦离子束微纳加工技术开发的研究任务;研究需要实现 10nm 尺度微孔加工和超导约瑟夫森节制备，在研究的过程中需要利用“氦离子显微镜”来实现聚焦氦离子束在纳米尺度的图形化刻写加工，而要实现这些目的，就需要“氦离子显微镜”具备高能量氦离子束所具备的纳米尺度束斑，这是因为纳米尺度束斑可以实现10nm 尺度的刻写或离子注入加工;3.经过调研，目前只有卡尔蔡司公司的0rion NanoFab 型“氦离子显微镜”能够满足研究的需要，该设备由于氦离子束和镓离子束两台高压电源故障，且灯丝已运行7年无法获得稳定离子束发射，故整机无法正常使用，目前已申请教育部修购基金项目“灯丝和高压电源”并获批准;而“氦离子显微镜”目前已停产，并且只有卡尔蔡司公司能够提供系统部件更换和维护维修服务;因此，特申请以单一来源的方式进行采购。

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