是否接受进口

拒绝进口

品牌

星海光电

型号

UPM5

生产厂商

哈尔滨市博众泰达光学精密机械有限公司

产地信息

哈尔滨

技术规格及参数

1.1 满足2~3英寸（碳化硅、单晶硅、单晶/多晶金刚石）晶圆 (厚度1-20 mm)加工需求。1.2磨头主轴、摆动工装（2套）、磨头修整器、床身（整体式铸造，含机罩）、控制面板。1.3 晶圆装夹在摆动工装上，通过摆动工装可手动调节与磨头端面垂直方向的相对位置并形成偏心旋转，而且满足恒力加载。1.4 控制面板具备冷却水流量调节、摆动工装/磨头转速调节、磨头在线修整、照明/排气等功能。1.5磨头直径50~350 mm、主轴额定功率4.0 KW、磨头端面跳动精度优于20 μm。1.6 磨头转速调节范围0~1500 rpm、工件转速调节范围0~100 rpm。1.7 设备应满足最大尺寸1500×1300×2000 mm以及最大承重载荷6.0 KN/m2的要求。1.8 晶圆加工精度应满足表面粗糙度Sa ≤ 1 nm、表面损伤层厚度≤ 5 nm。

质保期

对货物及其随机配件提供1年的保修期，该保修期自货物验收合格之日起计算。

售后要求

提供设备报修电话及联系人，采购方报修后，2小时内响应，48小时内派员上门现场维护，并在72小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给采购方代用。