1. 项目名称/货物名称：多介质工艺气体气源组件

2. 预算金额：*开通会员可解锁*元

3. 主要技术指标/性能要求：

多介质工艺气体气源组件，包含正压气源和负压真空泵：

（1）正压气源：包含He、Ar、N2、CO2四种半导体工艺气体，采用8L/40L标准气瓶；

（2）真空负压：采用静音真空泵，极限负压≤10Pa，流量≥2m3/h。

（3）供货周期：签订合同后60天。

4. 供应商应具备的资格要求：具备提供相应产品或服务的合法资格（不限营业执照、生产类似产品相关业绩的资料）。

5. 询价原则：询价小组根据符合采购需求、质量和服务相等的前提下，以报价最低的供应商作为成交供应商。

6. 询价时间：*开通会员可解锁*—*开通会员可解锁*（自询价之日起不少于5个工作日）；*开通会员可解锁*17点前，供应商须将报价单（详见附件1）加盖公章后送达或寄达至杭州市钱塘区海通街580号9号楼，逾期不予接收。（提供报价单时需提供营业执照、组织机构代码证等）。

7. 联系方式：杭州市钱塘区海通街580号9号楼1007室能源环境和生命健康计量研究中心综合科

联系人：罗工

联系电话：*开通会员可解锁*

附件：采购报价单

采购报价单（新）.docx