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近期,上海大学发布多批次采购意向公告,计划购置混合键合界面平坦化设备、原子层刻蚀系统、氢氦协同离子注入系统、波长色散型X射线荧光光谱仪等20余套仪器设备,覆盖半导体制造、微电子封装、海洋探测、材料分析等多个前沿科研领域,预算金额4709.599万元,预计采购时间在2026年8-9月。
采购意向仅为政府采购前期规划安排,正式招标、采购细则以上海大学后续发布官方招标公告及采购文件为准,仪器设备供应商可持续关注该校招标动态。
| 上海大学采购意向汇总表 |
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| 序号 |
采购项目名称 |
预算金额(万元) |
预计采购时间 |
| 1 |
混合键合界面平坦化设备 |
350 |
*开通会员可解锁* |
| 2 |
原子层刻蚀系统 |
450 |
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| 3 |
大面积高分辨电极印刷-柔性封装一体化设备 |
170 |
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| 4 |
激光跟踪仪 |
130 |
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| 5 |
光刻机物镜小磨头抛光装备 |
110 |
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| 6 |
晶圆级高密度存储器多场可靠性测试系统 |
200 |
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| 7 |
氢氦协同离子注入系统 |
385 |
*开通会员可解锁* |
| 8 |
高通量全自主镶嵌磨抛智控集成系统 |
140 |
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| 9 |
任意阻抗混合矢量非线性网络射频工艺器件验证系统 |
525 |
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| 10 |
海洋复杂电磁环境智能感知与分析系统 |
149 |
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| 11 |
AI4S多物理采存算一体电磁仿真平台 |
133.3 |
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| 12 |
室内无人艇集群自主航行与协同控制平台 |
135 |
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| 13 |
面向智能驾驶的船载海况感知与多源融合科研平台 |
105 |
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| 14 |
原位电化学材料观测系统 |
270 |
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| 15 |
MEMS显微检测系统 |
150 |
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| 16 |
MEMS辐射传感测试系统 |
350 |
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| 17 |
海洋温盐深(CTD)一体化探测系统 |
163.5 |
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| 18 |
波长色散型x射线荧光光谱仪 |
160 |
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| 19 |
激光粒度粒形分析系统 |
100 |
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| 20 |
劳厄晶体定向仪 |
185 |
|
| 21 |
自动化水冷却循环装置 |
178.799 |
|
| 22 |
多功能循环式自动化实验水槽 |
170 |
|
| 合计 |
4709.599 |
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| 来源:中国政府采购网整理:化工仪器网 |
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