一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-25-G00066

2、项目名称：科研用干法刻蚀设备6寸到8寸系统升级采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：科研用干法刻蚀设备6寸到8寸系统升级，详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由：

为满足教学科研的发展，微纳系统制造中央实验室（NFF实验室）拟对前期采购的3套干法刻蚀设备进行升级，将其晶圆加工能力从6英寸升级至8英寸，以完成8寸Wafer的刻蚀。

干法刻蚀设备是半导体制造领域的高精密、高价值核心设备，本次升级的3套干法刻蚀设备（型号GDE C200、GSE S200）是制造商北京北方华创微电子装备有限公司（以下称“北方华创公司”）生产的专用设备，其机械结构、真空系统、射频电源、气体输送、温度控制及软件控制系统均由北方华创公司采用专有设计和定制化技术集成。经市场调研，晶圆加工能力的升级涉及到仪器的反应腔模块、电极匹配、气体流场、温控系统、晶圆传输模块等核心部件的全面重构与校准，必须基于仪器制造商掌握的底层设计图纸以及系统软件，非仪器制造商无法获取上述关键信息并完成对应功能升级。目前只有由仪器制造商北方华创公司对NFF实验室的3套干法刻蚀设备进行专业升级，提供相关原厂部件的安装更换及调试，才能确保本次升级改造的完整性与功能性以及设备的统一性、稳定性和系统兼容性。因此，北京北方华创微电子装备有限公司是唯一满足本项目需求的供应商。

综上所述，本项目拟以定向采购的方式向“北京北方华创微电子装备有限公司”进行采购。

2、申请依据：

本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章“定向采购使用范围”中第（4）点“必须保证与原主体项目的统一性、兼容性需要继续从原供应商增购的”情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：北京北方华创微电子装备有限公司；地址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：林老师

联系电话：*开通会员可解锁*

联系邮箱：jiaqilin@hkust-gz.edu.cn

香港科技大学（广州）采购处

*开通会员可解锁*